おはようございます
ここ数日、日が短くなりましたね
安曇野は朝と夕が冷え込んできており、少し物寂しくなりました
さて、今日は「薄膜」についてお話ししていきますよ(｀･ω･´)ゞ
「薄膜」とは、字のとおり「薄い膜」の事になります
イメージとして、メッキなどよりも薄い膜になります
厚さとして数μぐらいかと思います
この薄膜を作成する技術の1つが「蒸着」になります
さて、厚さが数μとお話しをしましたが、数μの中には、何層もの別の材料がミルフィーユのように 積み重なっております
色々な特性を作り出す事ができます
因みに、積層の中には、数nmぐらいの薄い膜もあります
数nmと聞いてもパッとしないかもしれませんが、 昔化学の授業で見た事のある↓のように分子式の
C-Cの結合長が約0.15nmほどになりますので、 1nmは、単純に考えると7個のCが連なったぐらいの長さになります！
おお！なんて薄いのだ！！
・・・。私の趣味に走ってしまい申し訳ございません(笑)
マスクによく書いてある遮断率試験「PFE」は、0.1μ（100nm）の大きさをどのくらい捕集できるかなを表しているので、数nmとは大変薄い物だとわかりますね(; ･`д･´)
その数nmをコントロールしながら製品を作っていると考えると凄いですよね
少し話は変わりますが、皆さまは薄膜を形成する手法についてしっていますか？
実は薄膜を形成する手法はいくつかあります
今回は２つ紹介して行きたいと思います
1.真空蒸着
この蒸着日記でも良く出てきます蒸着が一つ目の手法です
弊社が実施しているのもこの手法になります
膜厚の制御が下記のスパッタよりも若干良いらしいです
2.スパッタリング
スパッタも薄膜を形成する方法の一種ですが、分類的には、真空メッキの一種だそうです
メッキと聞くと親しみやすい感じがしますね( *´艸｀)
また、蒸着よりも回り込みしやすいため、より複雑な基板に蒸着できます
この他にもイオンプレーティング方や気相成長法などありますが、私が勉強したらまた記載しますね！
それにしても薄膜は奥が深いですね
次回 10/15 更新予定
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